氮化硅毛坯球的热等静压法成型工艺

氮化硅毛坯球的热等静压法成型工艺
------文章来源：湖州源沁新材料有限公司技术部


与大多数陶瓷制品一样，氮化硅球也用粉末制造。目前常用的氮化硅毛坯球制造工艺有：反应烧结、热压烧结、热等静压烧结等。
在轴承零件生产中，热等静压法目前被认为是制造氮化硅毛坯球较佳工艺，因为该工艺直接适用于密封预成形或烧结生产方法的一部分，能生产出致密度接近**的材料。

热等静压法工艺流程简述：
热等静压法是在250MPa的压力和750℃的温度下，在氩气保护气氛中，将氮化硅材料热压2h，制成试样球。再用玻璃粉末喷射球坯，形成一个多孔的壳体，然后将其置于一个真空的**炉中加热，从材料中除去被束缚住的空气，并使玻璃熔化，控制冷却后，玻璃层变成了密封层。热压阶段完成后，减小压力，促使玻璃从球中清除出来。

?氮化硅毛坯球的制造技术对氮化硅陶瓷球的后续加工过程影响很大，毛坯球的尺寸公差及表面质量将决定着陶瓷球较终质量及后期加工成本。


参考资料：
轴承用氮化硅球的制造方法，哈尔滨轴承集团，孙立钧；中航工业哈尔滨轴承，张桂燕着。